SU3800/SU3900掃描電子顯微鏡搭載了多功能大樣品倉,大樣品的分析;搭配多附件,可對(duì)正極材料進(jìn)行多方位分析。另外,可搭載直徑可達(dá)200mm(3800),300mm(3900)的樣品,進(jìn)行多個(gè)樣品的一并分析。
從廣域到微小領(lǐng)域的觀察分析。 廣泛活躍在材料或產(chǎn)品的品質(zhì)管理中。
掃描電子顯微鏡SU3800/3900在生產(chǎn)鋰離子電池過程中,被廣泛用于來料檢測、生產(chǎn)異物的分析等??蒵以實(shí)現(xiàn)顆粒的細(xì)微表面形貌分析、三維形狀分析,EDS構(gòu)成信息分析等多維分析。多種分析均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化,有望提升鋰離子電池的生產(chǎn)效率。
兼?zhèn)洳僮餍院蛿U(kuò)展性,也可應(yīng)對(duì)大樣品的觀察。
SU3800/SU3900掃描電子顯微鏡搭載了多功能大樣品倉,大樣品的分析;搭配多附件,可對(duì)正極材料進(jìn)行多方位分析。另外,可搭載直徑可達(dá)200mm(3800),300mm(3900)的樣品,進(jìn)行多個(gè)樣品的一并分析。
多功能超大樣品倉
· 樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
· 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟??梢员苊庖蛉藶榈恼`操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品,也能夠輕松更換。
· 樣品交換倉*
選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率。
· 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900掃描電子顯微鏡配置了樣品臺(tái)自由模式,開放了樣品臺(tái)移動(dòng)的自由度。操作人員可自行判斷,自由移動(dòng)樣品臺(tái)。
※選擇樣品臺(tái)自由模式時(shí),請(qǐng)同時(shí)選配紅外CCD探測器。
· 紅外CCD探測器*,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置。通過使用紅外線攝像機(jī),可以在觀察SEM圖像的同時(shí)監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置,放大CCD圖像,并且移動(dòng)觀察位置。
*配件
· 支持全視野移動(dòng),SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
1、與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
與GUI聯(lián)合的SEM MAP,正是因?yàn)椴捎昧藰悠穫}室導(dǎo)航相機(jī),才得以實(shí)現(xiàn)廣角相機(jī)導(dǎo)航功能*。在SEM MAP上指出觀察目標(biāo)位置,可以順利地移動(dòng)到任意的位置上。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像,通過自由放大或縮小圖像,可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。
*配件
2、覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm(SU3800)/ 直徑200mm(SU3900),并且可以與樣品臺(tái)R一起聯(lián)動(dòng),移動(dòng)到大型樣品的觀察區(qū)域。
3、支持360度旋轉(zhuǎn)
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系,因此在觀察高度差大的樣品時(shí),可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)或電子束來獲得觀察分析位置,避免陰影效應(yīng)造成的影響。